根据加工产品请求的各异，真空腔的巨细也不一样，现在使用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢资料制造，请求不生锈、坚实等，真空腔各部分有衔接阀，用来衔接各抽气泵浦。

 

　　二、辅助抽气系统

 

　　此排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成

 

　　排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA摆布的低真空状况，为分散泵后继抽真空提供条件，以后当分散泵抽真空腔的时分，机械泵又合作油分散泵构成串联，以这样的办法完结抽气动作。

 

　　排气体系为镀膜机真空体系的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大部分构成。

 

　　机械泵：也叫前级泵，机械泵是使用最广泛的一种低真空泵，它是用油来坚持密封作用并依托机械的办法不断的改动泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断胀大从而取得真空。

 

　　机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用最广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。

 

　　机械泵常常被用来抽除枯燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵通常被用来抽除永久性的气体，可是对水气没有好的作用，所以它不能抽除水气。旋片泵中起首要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里边但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有绷簧，确保了弹片紧紧贴在定子的内壁。

 

　　它的两个弹片替换起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面紧缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完结两次吸气和两次排气。当泵接连顺时针滚动时，旋片泵不断的经过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，完结对容器抽气的意图。为了进步泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里边这样，在遍地的空地中及有害空间里边常常坚持满足的油，把空地填满，所以油一方面起到了光滑作用，另一方面又起了密封和阻塞缝隙及有害空间的作用，避免气体分子经过各种渠道反流到压强低的空间去。

 

　　机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，乃至更高。