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真空镀膜-镀膜设备自动化的说明

文章出处:网责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-05-03 14:08:00

 真空镀膜-镀膜设备自动化的说明

1.具有操作简便、性能稳定、抗干扰能力强的特点。操作系统具有灵活的可视化操作接口,并针对设备运行的具体情况,分为手动界面、维修界面、历史记录界面、自动界面。
2.     根据权限不同,限制相应的操作限制,最大限度的保证设备的正常运转和安全操作,以及工艺的稳定性和连续性。
3.     整个系统的操作、控制、显示集中在一起,便于实时的观察设备的运行,及时掌握设备的动态情况。
4.     镀膜过程的参数有实时记录,并自动储存,以历史记录方式可查,以便事后分析和改进工艺。
5.     工艺过程中对主要参数有实时曲线视觉,并有历史曲线可查(存盘期可达5年)。
6.     由工控机设定工艺总流程并执行,分时段逐序执行设定的工艺参数。
7.     工控机能够设定控制3/4路气体所需的所有工艺参数,并自动执行所设定的参数。
8.     工控机能够设定所有电源的工作参数(如恒功率或恒流控制模式的设定,功率大小和电流大小等参数的设定),并全自动执行所设定的参数。
9.     独立的手动操作系统,可与自动系统任意切换。
 

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