一、真空主体——真空腔

　　根据加工产品恳求的各异，真空腔的大小也不一样，现在运用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢资料制作，恳求不生锈、坚实等，真空腔各部分有联接阀，用来联接各抽气泵浦。

　　二、辅佐抽气系统

　　此排气系统选用“涣散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成

　　排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA支配的低真空情况，为涣散泵后继抽真空提供条件，今后当涣散泵抽真空腔的时分，机械泵又协作油涣散泵构成串联，以这样的方法结束抽气动作。

　　排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油涣散泵三大部分构成。

　　机械泵：也叫前级泵，机械泵是运用最广泛的一种低真空泵，它是用油来坚持密封效果并依托机械的方法不断的改动泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断胀大然后获得真空。

　　机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要运用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在运用最广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。

　　机械泵常常被用来抽除单调的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵通常被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。

　　它的两个弹片替换起着两方面的效果，一方面从进气口吸进气体，另一方面紧缩现已吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵结束两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针翻滚时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，结束对容器抽气的目的。为了前进泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在遍地的空位中及有害空间里面常常坚持满意的油，把空位填满，所以油一方面起到了润滑效果，另一方面又起了密封和阻塞缝隙及有害空间的效果，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。

　　机械泵是从大气初步作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。