真空镀膜-真空镀膜机选用要点

　　1、手动主动的挑选

　　依据设备运用特色，可挑选手动、半主动、全主动或其组合的操控方法。

　　2、真空镀膜设备充气方法的挑选

　　充气方法可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，并可挑选多路充气管路及相应流量参数。

　　3、镀制方法的挑选

　　依据工艺要求挑选镀制方法及方式，如电阻蒸腾(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺度多弧源(Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等)，真空丈量可挑选数字式智能真空计及其优质的丈量规管，及其它丈量仪器，如主动压强操控仪等。膜厚丈量可选用方块电阻丈量仪，透过率计等。

　　4、真空镀膜设备夹具的工作模式

　　夹具工作方式有自转、公转及公转+自转方法，用户可依据基片尺度及形状提出相应要求，滚动的速度范围及滚动精度：普通可调及变频调速等。

　　5、挑选真空镀膜机的类型

　　依据工艺要求挑选不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸腾、电子束蒸腾、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

　　6、真空体系

　　真空体系由机械泵、分散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

　　7、烧烤外表的挑选

　　依据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应外表丈量。