一、电子枪安装与维护

电子枪蒸发源控制系统是由电子枪灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发源等组成一个电子枪控制电枢。

电子枪控制电枢内含有高压，在工作前必须保证柜门各个联锁装置正常工作，非专业人员不得打开电枢门，电子枪在工作时不得打开电柜门，整个电柜必须有良好的接地并与机台接地连接。

电子枪蒸发源安装在真空室底板上，必须与底板有良好的接地效果，安装蒸发源必须使用不锈钢螺丝来固定，周边200mm以内不得有导磁的物体，否则会影响到电子枪的光斑成表，造成电子性能的不良。电子枪档板应尽量装在蒸发源坩埚的中心上30mm处，以不影响电子束的发射为好。

电子枪蒸发源是一个精密机械加工体，在工作时必须保证有良好的冷却水，如过高的温度会影响电子束的成型及各密封圈的性能。

 

（一）电子枪头

电子枪的枪头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子枪枪头有关。

电子枪枪头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。

 

（二）坩埚的维护

拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子枪冷却管内的水分尽可能吹干净。

 

蒸发源装卸顺序：

1.拆落两条冷却水连接管。2.拧出电子枪枪头连接高压线两个螺丝。3.拆坩埚传动连接座、联轴器。4.拧落蒸发源四个固定螺丝。5.把蒸发源搬运到一个稳定平整的工作台。6.拆落坩埚盖板四个螺丝，取下盖板打磨干净。7.检查盖板上面两个密封圈是否需要更换。8.把蒸发源反转过来倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺丝10.抬起蒸发源，取下坩埚 11.把坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺丝，清洗干净里面的污垢，检查是否需要近密封圈。12.拧下导水管的一个螺丝13.拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺丝 14.拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要换件  15.把坩埚清洁干净安装。安装按上面的倒过顺序来进行。

 

（三）导磁板及扫描圈的维护

导磁板及永磁铁是不需要经常拆卸维护，如需拆卸，请注意永磁铁的极向，及导磁板的方向。线圈由于安装的空间密实，请不要使用硬尖的东西撬动，否则有可能会造成损坏。